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万博官网登陆及以上晶体生长炉  
简要说明:
 
详细内容  

设备参数:

指标

参数

指标

参数

晶体直径

φ8"/φ14"

熔料量

380Kg

主炉室尺寸

φ900×1250mm

翻板阀通径

φ420mm

拉伸腔尺寸

φ450×2270mm

电源

3相380V±10%,50HZ

变压器容量

230KVA

冷炉极限真空度

3Pa

加热器最大加热功率

150KVA

加热器最高加热电压

60V

主机最大高度

7200mm

籽晶拉速范围

0~12.5mm/min

籽晶快速范围

≥400mm/min

籽晶转速范围

0~50R/min

坩埚升速范围

0~2mm/min

坩埚快速范围

≥100mm/min

坩埚转速范围

0~20R/min

籽晶提升有效行程

2250mm

坩埚升降有效行程

400mm

 

 

主机占地面积

2700mmX1500mm

整机占地面积

5500mmX3000mm

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